科目一覧へ戻る | 2021/09/17 現在 |
開講科目名 /Course |
半導体材料・デバイス工学特論 |
---|---|
時間割コード /Course Code |
S211000173 |
ナンバリングコード /Numbering Code |
|
開講所属 /Course Offered by |
理工学研究科/ |
曜日コマ /Day, Period |
水 3 |
開講区分 /Semester offered |
前期/first semester |
単位数 /Credits |
2.0 |
学年 /Year |
1,2 |
主担当教員 /Main Instructor |
岡本 浩/OKAMOTO HIROSHI |
科目区分 /Course Group |
大学院(博士前期課程) 専門科目 |
教室 /Classroom |
|
必修・選択 /Required/Elective |
選択 |
遠隔授業 /Remote lecture |
No |
教員名 /Instructor |
教員所属名 /Faculty/Department |
---|---|
岡本 浩/OKAMOTO HIROSHI | 理工学研究科/ |
難易度(レベル) /Level |
レベル5 |
---|---|
対応するDP /DP |
DP1・DP2・DP3 |
授業としての具体的到達目標 /Concrete arrival target as the class |
各種半導体デバイスの動作原理とその物理、並びにデバイスの性能を発揮するために必要なプロセス技術や分析・評価方法を説明できるようになることを目標とします。 |
授業の概要 /Summary of the class |
半導体材料やデバイスに関する知識はそれらの研究開発のみならず、電子回路やシステムの設計においても必要とされるものです。この授業では学部で学んだ内容をより発展させ、電気電子工学の専門家として活躍するための素養を身につけることを目指します。 |
授業の内容予定 /Contents plan of the class |
第1回:ガイダンス・イントロダクション(半導体デバイスとプロセス,評価・分析) 第2回:MOS構造の基礎 第3回:MOSFETの動作原理 第4回:集積回路の基礎 第5回:半導体光物性の基礎 第6回:光受光素子の動作原理 第7回:発光素子の動作原理 第8回:Siプロセスの基礎 第9回:化合物半導体プロセスの基礎 第10回:新材料や新構造,材料の品質向上段階における評価 第11回:デバイス化プロセスにおける評価 第12回:半導体の分析(機器分析) 第13回:デバイスの特性評価 第14回:デバイスの信頼性評価 第15回:総合討論 上記に関する講義と平行して、論文やテキストを用いた輪講や討論を行います。 |
成績評価方法及び採点基準 /A scholastic evaluation method and marking standard |
発表並びに討論の状況を50%程度、レポート等の課題を50%程度として評価を行います。 |
予習及び復習等の内容 /Contents such as preparations for lessons and the review |
○事前下調べの予習指示を出すことがあります。 ○復習も重要です。自分自身の頭を整理して実力を身につけて下さい。 |
教材・教科書 /The teaching materials, textbook |
特に指定しません。随時資料を配付します。 |
参考文献 /bibliography |
すべて図書館本館に蔵書があります。 1.河東田隆編著『半導体評価技術』(産業図書):半導体の各種評価技術に関する解説 2.Simon M. Sze, Kwok K. Ng『PHYSICS OF SEMICONDUCTOR DEVICES, 3rd Edition』(Wiley-Interscience):半導体デバイスの物理に関する代表的参考書 3.アンダーソン著 樺沢 宇紀訳『半導体デバイスの基礎〈上、中、下〉』:(シュプリンガー・ジャパン):半導体デバイスの動作原理がきちんと説明されている数少ない良書。 4.丹呉浩侑編『半導体プロセス技術』(培風館) 5. 前田和夫『はじめての半導体プロセス(現場の即戦力)』(技術評論社) 6. 真壁肇編『信頼性工学入門(改訂版)』(日本規格協会) |
留意点・予備知識 /Point to keep in mind, back ground |
半導体材料やデバイス、並びにその評価に興味がある人を対象とした特論です。 |
授業内容に関する質問・疑義等 /Question, doubt about class contents |
オフィスアワーは月曜日17:30-18:30に設定していますが、これに限らず、メールやTeamsの機能を使って連絡して下さい。 |
Eメールアドレス・HPアドレス /E-mail address, HP address |
ガイダンス時に説明します。 |
学問分野1(主学問分野) /Discipline 1 |
C21:電気電子工学およびその関連分野 |
学問分野2(副学問分野) /Discipline 2 |
B13:物性物理学およびその関連分野 |
学問分野3(副学問分野) /Discipline 3 |
D29:応用物理物性およびその関連分野 |
地域志向科目 /Local intention subject |
なし |
授業形態・授業方法 /Class form, class method |
講義の他、関連する書籍や論文等を題材とした輪講や討論を行う予定です。 |
科目ナンバー /The subject number |
MS-5--4002-Z95 |
メディア授業による著作物利用の有無について /Whether or not copyrighted works are used in media classes |
有/Yes |
その他 /Others |
特になし |
No. | 回(日時) /Time (date and time) |
主題と位置付け(担当) /Subjects and instructor's position |
学習方法と内容 /Methods and contents |
備考 /Notes |
---|---|---|---|---|
該当するデータはありません |