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授業情報/Class Information

科目一覧へ戻る 2023/09/27 現在

基本情報/Basic Information

開講科目名
/Course
マイクロ・ナノマシニング/Micro・nanomachining
時間割コード
/Course Code
7232000159
ナンバリングコード
/Numbering Code
開講所属
/Course Offered by
理工学部/
曜日コマ
/Day, Period
火/Tue 4
開講区分
/Semester offered
後期/second semester
単位数
/Credits
2.0
学年
/Year
2,3,4
主担当教員
/Main Instructor
花田 修賢/HANADA YASUTAKA
科目区分
/Course Group
専門教育科目 
教室
/Classroom
必修・選択
/Required/Elective
授業形式
/Class Format
講義科目
メディア授業
/Media lecture

担当教員情報/Instructor Information

教員名
/Instructor
教員所属名
/Faculty/Department
花田 修賢/HANADA YASUTAKA 理工学研究科/
難易度(レベル)
/Level
レベル2
対応するCP/DP
/CP/DP
CP・DP 1 見通す力
授業としての具体的到達目標
/Concrete arrival target as the class
○機械システムを駆動するための各種高エネルギービームを用いたマイクロ・ナノマシニングの原理、加工後の評価方法を理解できるようになること。
○マイクロ・ナノマシニング技術を用いた応用について理解すること。
○自分で簡単なマイクロ・ナノマシニング装置を設計できるようになること。
○マイクロ・ナノマシニングで用いる基礎英語を理解すること。
授業の概要
/Summary of the class
マイクロ・ナノデバイスを実現するための微細加工プロセスの原理を理解し、プロセス設計できるようになること。マイクロテクノロジーからナノテクノロジーへいたる先端的機械技術の応用意識が育まれること。
授業の内容予定
/Contents plan of the class
1.ガイダンス:微細加工とは(除去・付加加工について)
2.加工材料について
3.材料へのエネルギー遷移について
4.光加工:フォトリソグラフィ:装置構成について
5.光加工:フォトリソグラフィ:条件について
6.エッチング加工:ウェットエッチング
7.エッチング加工:ドライエッチング
8.光加工:レーザー加工:除去加工について
9.光加工:レーザー加工:付加加工について
10.その他ビーム加工:集束イオンビーム(FIB)加工について
11.観察・分析方法:マクロ分析について
12.観察・分析方法:ミクロぶんせきについて
13.微細加工の応用について
14.学生発表
15.学生発表
16.期末試験
成績評価方法及び採点基準
/A scholastic evaluation method and marking standard
平常評価20%、期末試験80%の割合で評価され、60 点以上を合格として単位が認定されます。ただし、全授業の2/3 以上の出席が必須です。
予習及び復習等の内容
/Contents such as preparations for lessons and the review
教科書の指示された範囲を予習します。授業の後の復習では、章末の演習問題を解いて理解を確認します。
教材・教科書
/The teaching materials, textbook
「センサ・マイクロマシン工学」 藤田博之 [編著]
電気学会・オーム社共同企画
参考文献
/bibliography
参考書は授業の中で適宜紹介されます。
留意点・予備知識
/Point to keep in mind, back ground
特になし。
授業内容に関する質問・疑義等
/Question, doubt about class contents
毎週月曜日17時30分~18時30分
Eメールアドレス・HPアドレス
/E-mail address, HP address
y-hanada@hirosaki-u.ac.jp
学問分野1(主学問分野)
/Discipline 1
D28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
学問分野2(副学問分野)
/Discipline 2
D30:応用物理工学およびその関連分野
学問分野3(副学問分野)
/Discipline 3
該当なし
実務経験のある教員による授業科目について
/About the class subject by the teacher with the work experience
なし
地域志向科目
/Local intention subject
なし
授業形態・授業方法
/Class form, class method
毎回、予習範囲が指示され、それに基づいて授業が進められます。
科目ナンバー
/The subject number
メディア授業による著作物利用の有無について
/Whether or not copyrighted works are used in media classes
無/Nothing
その他
/Others
〇マイクロ・ナノマシニングにおいて使用する基礎英語についても適宜、学習します。
No. 回(日時)
/Time (date and time)
主題と位置付け(担当)
/Subjects and instructor's position
学習方法と内容
/Methods and contents
備考
/Notes
該当するデータはありません

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