科目一覧へ戻る | 2024/03/29 現在 |
開講科目名 /Course |
マイクロ・ナノマシニング/Micro・nanomachining |
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時間割コード /Course Code |
7242000159 |
ナンバリングコード /Numbering Code |
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開講所属 /Course Offered by |
理工学部/ |
曜日コマ /Day, Period |
火/Tue 4 |
開講区分 /Semester offered |
後期/second semester |
単位数 /Credits |
2.0 |
学年 /Year |
2,3,4 |
主担当教員 /Main Instructor |
花田 修賢/HANADA YASUTAKA |
科目区分 /Course Group |
専門教育科目 |
教室 /Classroom |
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必修・選択 /Required/Elective |
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授業形式 /Class Format |
講義科目 |
メディア授業 /Media lecture |
- |
教員名 /Instructor |
教員所属名 /Faculty/Department |
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花田 修賢/HANADA YASUTAKA | 理工学研究科/ |
難易度(レベル) /Level |
レベル2 |
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対応するCP/DP /CP/DP |
CP・DP 1 見通す力 |
授業としての具体的到達目標 /Concrete arrival target as the class |
○機械システムを駆動するための各種高エネルギービームを用いたマイクロ・ナノマシニングの原理、加工後の評価方法を理解できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニング技術を用いた応用について理解すること。 ○自分で簡単なマイクロ・ナノマシニング装置を設計できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニングで用いる基礎英語を理解すること。 |
授業の概要 /Summary of the class |
マイクロ・ナノデバイスを実現するための微細加工プロセスの原理を理解し、プロセス設計できるようになること。マイクロテクノロジーからナノテクノロジーへいたる先端的機械技術の応用意識が育まれること。 |
授業の内容予定 /Contents plan of the class |
1.ガイダンス:微細加工とは(除去・付加加工について) 2.加工材料について 3.材料へのエネルギー遷移について 4.光加工:フォトリソグラフィ:装置構成について 5.光加工:フォトリソグラフィ:条件について 6.エッチング加工:ウェットエッチング 7.エッチング加工:ドライエッチング 8.光加工:レーザー加工:除去加工について 9.光加工:レーザー加工:付加加工について 10.その他ビーム加工:集束イオンビーム(FIB)加工について 11.観察・分析方法:マクロ分析について 12.観察・分析方法:ミクロぶんせきについて 13.微細加工の応用について1 14.微細加工の応用について2 15.2/3(火)期末試験・解説 |
成績評価方法及び採点基準 /A scholastic evaluation method and marking standard |
期末試験100%の割合で評価され、60 点以上を合格として単位が認定されます。ただし、全授業の2/3 以上の出席が必須です。 |
予習及び復習等の内容 /Contents such as preparations for lessons and the review |
教科書の指示された範囲を予習します。授業の後の復習では、章末の演習問題を解いて理解を確認します。 |
教材・教科書 /The teaching materials, textbook |
「センサ・マイクロマシン工学」 藤田博之 [編著] 電気学会・オーム社共同企画 |
参考文献 /bibliography |
参考書は授業の中で適宜紹介されます。 |
留意点・予備知識 /Point to keep in mind, back ground |
特になし。 |
授業内容に関する質問・疑義等 /Question, doubt about class contents |
毎週月曜日17時30分~18時30分 |
Eメールアドレス・HPアドレス /E-mail address, HP address |
y-hanada@hirosaki-u.ac.jp |
学問分野1(主学問分野) /Discipline 1 |
D28:ナノマイクロ科学およびその関連分野 |
学問分野2(副学問分野) /Discipline 2 |
D30:応用物理工学およびその関連分野 |
学問分野3(副学問分野) /Discipline 3 |
該当なし |
実務経験のある教員による授業科目について /About the class subject by the teacher with the work experience |
なし |
地域志向科目 /Local intention subject |
なし |
授業形態・授業方法 /Class form, class method |
毎回、予習範囲が指示され、それに基づいて授業が進められます。 |
科目ナンバー /The subject number |
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メディア授業による著作物利用の有無について /Whether or not copyrighted works are used in media classes |
無/Nothing |
その他 /Others |
〇マイクロ・ナノマシニングにおいて使用する基礎英語についても適宜、学習します。 |
No. | 回(日時) /Time (date and time) |
主題と位置付け(担当) /Subjects and instructor's position |
学習方法と内容 /Methods and contents |
備考 /Notes |
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該当するデータはありません |