シラバス参照

基本情報／Basic Information
詳細情報／Detailed Information
授業計画詳細情報／Class Schedule Details

基本情報/Basic Information

開講科目名／Course	マイクロ・ナノマシニング／Micro･nanomachining
時間割コード／Course Code	7242000159
ナンバリングコード／Numbering Code
開講所属／Course Offered by	理工学部／
曜日コマ／Day, Period	火／Tue　4
開講区分／Semester offered	後期／second semester
単位数／Credits	2.0
学年／Year	2,3,4
主担当教員／Main Instructor	花田修賢／HANADA YASUTAKA
科目区分／Course Group	専門教育科目
教室／Classroom
必修・選択／Required/Elective
授業形式／Class Format	講義科目
メディア授業／Media lecture	－

担当教員情報/Instructor Information

教員名／Instructor	教員所属名／Faculty/Department
花田修賢／HANADA YASUTAKA	理工学研究科／

難易度（レベル）／Level	レベル2
対応するＣＰ／ＤＰ／CP/DP	CP・DP　１　見通す力
授業としての具体的到達目標／Concrete arrival target as the class	○機械システムを駆動するための各種高エネルギービームを用いたマイクロ・ナノマシニングの原理、加工後の評価方法を理解できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニング技術を用いた応用について理解すること。 ○自分で簡単なマイクロ・ナノマシニング装置を設計できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニングで用いる基礎英語を理解すること。
授業の概要／Summary of the class	マイクロ・ナノデバイスを実現するための微細加工プロセスの原理を理解し、プロセス設計できるようになること。マイクロテクノロジーからナノテクノロジーへいたる先端的機械技術の応用意識が育まれること。
授業の内容予定／Contents plan of the class	1.ガイダンス：微細加工とは（除去・付加加工について） 2.加工材料について 3.材料へのエネルギー遷移について 4.光加工：フォトリソグラフィ：装置構成について 5.光加工：フォトリソグラフィ：条件について 6.エッチング加工：ウェットエッチング 7.エッチング加工：ドライエッチング 8.光加工：レーザー加工：除去加工について 9.光加工：レーザー加工：付加加工について 10.その他ビーム加工：集束イオンビーム（FIB）加工について 11.観察・分析方法：マクロ分析について 12.観察・分析方法：ミクロぶんせきについて 13.微細加工の応用について1 14.微細加工の応用について2 15.2/3(火)期末試験・解説
成績評価方法及び採点基準／A scholastic evaluation method and marking standard	期末試験100％の割合で評価され、60 点以上を合格として単位が認定されます。ただし、全授業の2/3 以上の出席が必須です。
予習及び復習等の内容／Contents such as preparations for lessons and the review	教科書の指示された範囲を予習します。授業の後の復習では、章末の演習問題を解いて理解を確認します。
教材・教科書／The teaching materials, textbook	「センサ・マイクロマシン工学」藤田博之 [編著] 電気学会・オーム社共同企画
参考文献／bibliography	参考書は授業の中で適宜紹介されます。
留意点・予備知識／Point to keep in mind, back ground	特になし。
授業内容に関する質問・疑義等／Question, doubt about class contents	毎週月曜日１７時３０分～１８時３０分
Eメールアドレス・HPアドレス／E-mail address, HP address	y-hanada@hirosaki-u.ac.jp
学問分野1（主学問分野）／Discipline 1	D28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
学問分野2（副学問分野）／Discipline 2	D30:応用物理工学およびその関連分野
学問分野3（副学問分野）／Discipline 3	該当なし
実務経験のある教員による授業科目について／About the class subject by the teacher with the work experience	なし
地域志向科目／Local intention subject	なし
授業形態・授業方法／Class form, class method	毎回、予習範囲が指示され、それに基づいて授業が進められます。
科目ナンバー／The subject number
メディア授業による著作物利用の有無について／Whether or not copyrighted works are used in media classes	無／Nothing
その他／Others	〇マイクロ・ナノマシニングにおいて使用する基礎英語についても適宜、学習します。

No.	回（日時）／Time (date and time)	主題と位置付け（担当）／Subjects and instructor's position	学習方法と内容／Methods and contents	備考／Notes
該当するデータはありません

開講科目名／Course	マイクロ・ナノマシニング／Micro･nanomachining
時間割コード／Course Code	7242000159
ナンバリングコード／Numbering Code
開講所属／Course Offered by	理工学部／
曜日コマ／Day, Period	火／Tue　4
開講区分／Semester offered	後期／second semester
単位数／Credits	2.0
学年／Year	2,3,4
主担当教員／Main Instructor	花田修賢／HANADA YASUTAKA
科目区分／Course Group	専門教育科目
教室／Classroom
必修・選択／Required/Elective
授業形式／Class Format	講義科目
メディア授業／Media lecture	－

難易度（レベル）／Level	レベル2
対応するＣＰ／ＤＰ／CP/DP	CP・DP　１　見通す力
授業としての具体的到達目標／Concrete arrival target as the class	○機械システムを駆動するための各種高エネルギービームを用いたマイクロ・ナノマシニングの原理、加工後の評価方法を理解できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニング技術を用いた応用について理解すること。 ○自分で簡単なマイクロ・ナノマシニング装置を設計できるようになること。 ○マイクロ・ナノマシニングで用いる基礎英語を理解すること。
授業の概要／Summary of the class	マイクロ・ナノデバイスを実現するための微細加工プロセスの原理を理解し、プロセス設計できるようになること。マイクロテクノロジーからナノテクノロジーへいたる先端的機械技術の応用意識が育まれること。
授業の内容予定／Contents plan of the class	1.ガイダンス：微細加工とは（除去・付加加工について） 2.加工材料について 3.材料へのエネルギー遷移について 4.光加工：フォトリソグラフィ：装置構成について 5.光加工：フォトリソグラフィ：条件について 6.エッチング加工：ウェットエッチング 7.エッチング加工：ドライエッチング 8.光加工：レーザー加工：除去加工について 9.光加工：レーザー加工：付加加工について 10.その他ビーム加工：集束イオンビーム（FIB）加工について 11.観察・分析方法：マクロ分析について 12.観察・分析方法：ミクロぶんせきについて 13.微細加工の応用について1 14.微細加工の応用について2 15.2/3(火)期末試験・解説
成績評価方法及び採点基準／A scholastic evaluation method and marking standard	期末試験100％の割合で評価され、60 点以上を合格として単位が認定されます。ただし、全授業の2/3 以上の出席が必須です。
予習及び復習等の内容／Contents such as preparations for lessons and the review	教科書の指示された範囲を予習します。授業の後の復習では、章末の演習問題を解いて理解を確認します。
教材・教科書／The teaching materials, textbook	「センサ・マイクロマシン工学」藤田博之 [編著] 電気学会・オーム社共同企画
参考文献／bibliography	参考書は授業の中で適宜紹介されます。
留意点・予備知識／Point to keep in mind, back ground	特になし。
授業内容に関する質問・疑義等／Question, doubt about class contents	毎週月曜日１７時３０分～１８時３０分
Eメールアドレス・HPアドレス／E-mail address, HP address	y-hanada@hirosaki-u.ac.jp
学問分野1（主学問分野）／Discipline 1	D28:ナノマイクロ科学およびその関連分野
学問分野2（副学問分野）／Discipline 2	D30:応用物理工学およびその関連分野
学問分野3（副学問分野）／Discipline 3	該当なし
実務経験のある教員による授業科目について／About the class subject by the teacher with the work experience	なし
地域志向科目／Local intention subject	なし
授業形態・授業方法／Class form, class method	毎回、予習範囲が指示され、それに基づいて授業が進められます。
科目ナンバー／The subject number
メディア授業による著作物利用の有無について／Whether or not copyrighted works are used in media classes	無／Nothing
その他／Others	〇マイクロ・ナノマシニングにおいて使用する基礎英語についても適宜、学習します。

授業情報／Class Information

基本情報/Basic Information

担当教員情報/Instructor Information